ASML公司于2022年參展第五屆進博會（圖片來源：鈦媒體App編輯拍攝）
2023年11月5日-10日，第六屆中國國際進口博覽會（下稱“進博會”）將在上海全面線下舉辦。
本屆進博會預(yù)計將迎來154個國家、地區(qū)和國際組織的來賓。已有超過3400家參展商和39.4萬名專業(yè)觀眾注冊報名，展覽面積約36.7萬平方米，參展的世界500強和行業(yè)龍頭企業(yè)數(shù)達289家，均超過之前歷屆水平。
作為全球芯片領(lǐng)域的領(lǐng)先供應(yīng)商，今年，ASML（阿斯麥）公司將攜光刻機、計算光刻和量測等諸多技術(shù)，以“光刻未來，攜手同行”為主題第五次參加進博會，繼續(xù)亮相上海國家會展中心技術(shù)裝備展區(qū)集成電路專區(qū)。
展會召開前夕，ASML全球副總裁、中國區(qū)總裁沈波與鈦媒體App等進行深入的交流，分享行業(yè)洞察、業(yè)務(wù)進展等情況。
沈波表示，去年ASML全球凈銷售額達212億歐元，預(yù)計2023財年，公司全球銷售額增長30%，將達270余億歐元。據(jù)ASML最新季報，明后年全球半導(dǎo)體行業(yè)將企穩(wěn)。預(yù)計到2025年，現(xiàn)有晶圓廠產(chǎn)能將會增加并有新的晶圓廠投入使用，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)將會迎來比較大的增長，迎來需求的“高潮”。
沈波透露，“我們現(xiàn)在對自己產(chǎn)能的判斷，目標是在2025年底或2026年初，具備每年500臺-600臺深紫外（DUV）的設(shè)備產(chǎn)能。”
簡單來說，光刻是指，晶圓被放入光刻機中，光線會通過“掩模版”投射到晶圓上，光刻機的光學(xué)系統(tǒng)將掩模版上設(shè)計好的電路圖案縮小并聚焦到晶圓上的光刻膠。當光線照射到光刻膠上時，會產(chǎn)生化學(xué)變化，將掩模版上的圖案印制到光刻膠涂層上。
因此，光刻在芯片制造過程中至關(guān)重要。而光刻機也被譽為半導(dǎo)體“皇冠上的明珠”。（詳見鈦媒體App前文：《解密光刻機巨頭ASML的發(fā)家史》）
作為全球半導(dǎo)體行業(yè)的創(chuàng)新領(lǐng)導(dǎo)者，1984年成立的ASML公司，提供涵蓋硬件、軟件和服務(wù)在內(nèi)的全景光刻解決方案，幫助芯片制造商在硅晶圓上批量“刻”制圖形。同時，ASML也是目前世界上唯一使用極紫外光（EUV）的光刻機制造商。
事實上，光刻機制造過程繁雜、難度較大。
“我們的光刻機每小時能處理多達300余片晶圓，每一片晶圓可能在光刻機中曝光時間只有十幾秒。這十幾秒，機器要把所有的曝光完成。其中，在一片晶圓上，根據(jù)產(chǎn)品種類和設(shè)計的差異需要產(chǎn)生100束光左右，每一束光都會有區(qū)別，并且在實時調(diào)整。這個過程非常復(fù)雜、非常精細。”沈波表示，光刻環(huán)節(jié)，處于上千道工序里面最核心的位置。量產(chǎn)芯片廠，產(chǎn)品良率基本上在90%以上。這一千多道工序，每一道工序的誤差、偏差都需要控制得非常精確。任何一道工序有問題，芯片最后出來就可能不是一個合格的產(chǎn)品，這對芯片廠而言是巨大的成本。
ASML全球副總裁、中國區(qū)總裁沈波
沈波先生于2018年1月加入ASML公司，現(xiàn)擔任ASML全球高級副總裁和中國區(qū)總裁職務(wù)，負責ASML公司在中國的總體業(yè)務(wù)發(fā)展和運營。在加入ASML之前，沈波曾供職于美國通用電氣(GE)公司、芬蘭富騰工程公司等。
自1988年向中國交付了首臺步進式光刻機之后，ASML公司已經(jīng)在中國市場深耕30余年，參與支持了中國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，提供全包括光刻機臺、計算光刻、以及光學(xué)和電子束量測的全景光刻解決方案，從而幫助客戶提高效率并降低成本。
目前，ASML在中國設(shè)有16個辦事處、12個倉儲物流中心、3個開發(fā)中心、1個培訓(xùn)中心以及1個維修中心。ASML在中國大陸的員工總?cè)藬?shù)已經(jīng)超過1600人。
事實上，中國已成為ASML最重要的市場之一。
今年10月18日ASML公布的最新財報顯示，截止9月30日的前三季度，ASML全球凈銷售額達203.21億歐元，而中國區(qū)同期收入約合52.67億歐元，占比25.91%左右。ASML預(yù)計，2023年第四季度的凈銷售額在67億-71億歐元之間，毛利率在50%-51%之間。
“總體來講，到目前為止，我們還屬于有一點產(chǎn)能不足的狀態(tài)。對市場的需求來說。盡管現(xiàn)在全球行業(yè)整體處在周期谷底，但ASML目前在手還沒執(zhí)行的訂單有350億歐元?？傮w上（光刻設(shè)備）還是供不應(yīng)求。”沈波表示，2022財年，ASML全球凈銷售額達212億歐元，今年全公司銷售額增長30%，預(yù)計達270億歐元以上。
對于中國市場，沈波對鈦媒體App表示，“現(xiàn)在網(wǎng)上有各種各樣的關(guān)于我們的消息，說我們不賣機器到中國，這種很吸引眼球的傳聞。然而，實際上我們從1988年首臺機器運到中國，到2023年底，ASML在中國的光刻機加上量測的機臺裝機量接近1400臺。所以，實際上我們這些年在中國的成長幅度還是非?？捎^的。我們一直在不停地投入做這件事情。”
“對于我們來講，我們是跟著這個（中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)）成長在不停地投入，團隊的投入、備件領(lǐng)域的投入、產(chǎn)品開發(fā)方面的投入，我們在中國都不斷地投入才形成這樣一個局面。我們的出發(fā)點，是為了更好的支持中國客戶的生產(chǎn)以及其今后的發(fā)展，我們一直是沿著這個思路在成長。”沈波表示，接下來，ASML仍將持續(xù)、更好地支持客戶的發(fā)展，尤其在本土的客戶服務(wù)方面也在不斷地加大投入力度。
第六屆進博會期間，ASML將會展示“鐵三角”全景光刻解決方案：配備先進工藝控制能力的光刻機臺、計算光刻、光學(xué)及電子束量測。
其中，需要稍微科普的一個技術(shù)是“計算光刻”。
發(fā)展30多年的計算光刻，目前主要應(yīng)用于芯片的開發(fā)與制造環(huán)節(jié)，通過優(yōu)化成像光源與掩模版設(shè)計，實現(xiàn)更精確的圖形成像和更好的芯片生產(chǎn)良率。目前，ASML擁有全球領(lǐng)先的光學(xué)鄰近效應(yīng)修正（OPC）、光源-掩膜協(xié)同優(yōu)化技術(shù)（SMO）等計算光刻技術(shù)。
今年3月，英偉達宣布與臺積電、ASML、新思科技(Synopsys)合作，利用NVIDIA cuLitho計算光刻技術(shù)軟件庫，將計算光刻加速40倍以上，為2nm及更先進的工藝奠定基礎(chǔ)，引發(fā)廣泛關(guān)注。
截至目前，全球范圍內(nèi)有眾多芯片制造商已采用ASML的計算光刻技術(shù)，并基于此技術(shù)加速研發(fā)周期以及制造芯片。今年，ASML計算光刻中國團隊已開發(fā)并發(fā)布了一款新版本的計算光刻產(chǎn)品。
在“鐵三角”中，ASML中國團隊參與了計算光刻和電子束量測業(yè)務(wù)的相關(guān)開發(fā)工作。
其中，深圳和武漢的研發(fā)中心參與計算光刻開發(fā)，是全球體系的一環(huán)；北京研發(fā)中心在ASML電子束檢測產(chǎn)品線中具有重要作用，參與了多個電子束檢測模塊開發(fā)。
在沈波看來，作為公司全球研發(fā)體系的一環(huán)，ASML在國內(nèi)的技術(shù)團隊和其他地區(qū)的團隊通力合作，有不少項目都是各地的技術(shù)人員進行協(xié)作，融為一體的。“半導(dǎo)體行業(yè)從誕生起就是全球合作的，在ASML也是一樣。”沈波曾表示。
沈波強調(diào)，2018年初，ASML中國團隊有500人左右，到今年底是1600多人。預(yù)計到2024年，ASML也將計劃有一個可持續(xù)的團隊成長。
沈波表示，ASML成立至今，團隊持續(xù)秉持“3C文化”：挑戰(zhàn)求精（Challenge）、合作共進（Collaborate）、關(guān)愛致遠（Care）。
“我們一直在講，我們團隊與團隊、同事、客戶之間都是合作的關(guān)系。我們跟客戶是很重要的合作伙伴，協(xié)作這個概念在我們公司是貫徹得非常一致的。”沈波表示，ASML會持續(xù)助力全球晶圓廠、芯片企業(yè)成長。
沈波坦率地表示，“我們的工作很辛苦，員工半夜兩三點接到客戶打來的電話，就得馬上幫客戶去解決問題。因為每一分鐘的效率都關(guān)系到客戶的利益，提前一分鐘把機器恢復(fù)起來對客戶來說都是好的，所以需要我們快速地去響應(yīng)客戶的需求。我們努力關(guān)愛員工，在更高層面上也對行業(yè)充滿敬畏與責任感。我們認為，關(guān)注行業(yè)的未來比單純追求商業(yè)利益更加重要。”
“我們關(guān)心的是行業(yè)長遠健康發(fā)展，我們的商業(yè)利益不是首位的。從財務(wù)狀況可見，ASML的盈利水平僅為行業(yè)的平均水平。我們并沒有追求要賺到更多的錢，而是更關(guān)注解決技術(shù)挑戰(zhàn)，因為如果我們不采取行動，整個行業(yè)可能會受到影響。我們深感責任重大，正在努力推進技術(shù)進步以支持整個半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展，即便這個過程很困難。”沈波表示。
過去五年，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)經(jīng)歷了缺芯、缺設(shè)備、地緣博弈、經(jīng)濟衰退、消費電子需求減弱等多個疊加的復(fù)雜環(huán)境因素，ASML又身處芯片行業(yè)中的核心領(lǐng)域，持續(xù)面臨著挑戰(zhàn)與機遇。
據(jù)新華社，美國商務(wù)部于10月17日發(fā)布了對華半導(dǎo)體出口管制最終規(guī)則，進一步加嚴對人工智能相關(guān)芯片、半導(dǎo)體制造設(shè)備的對華出口限制。
當被問及相關(guān)話題時，沈波坦言，“現(xiàn)在對于新的出口管制政策，我們還在研究中。總體來看，如果以今年我們在中國的業(yè)務(wù)為基礎(chǔ)，明年的業(yè)務(wù)大概會受到10%-15%的影響。中國明年的市場需求還是蠻旺盛的。短期內(nèi)我們感覺應(yīng)該對總體業(yè)務(wù)量不會有太大影響。從公司角度，到2030年，行業(yè)整體趨勢一直起伏性增長，所以對公司銷售的總體趨勢不會有太大的改變。”
具體來說，因受到外部影響導(dǎo)致明年無法繼續(xù)供應(yīng)的產(chǎn)品，將約占ASML中國區(qū)業(yè)務(wù)銷售比重的10%-15%。
“我們只有部分浸潤式產(chǎn)品明年會被放到出口管制的范圍，并不是所有的。即使有了新的出口管制，我們還有非常大的一塊浸潤式的業(yè)務(wù)在中國。”沈波補充稱。
“芯片這個行業(yè)的發(fā)展到現(xiàn)在已經(jīng)超過60年了，從集成電路發(fā)明到現(xiàn)在，一直沿著自己的規(guī)律在往前走。如果我們?nèi)タ粗袊@個產(chǎn)業(yè)里面最有影響的地方在哪？可以從不同終端市場來看。”目前，中國在家電和消費電子、新能源汽車、電力儲能、多晶硅、太陽能電池和組件等終端領(lǐng)域發(fā)展迅速。
沈波稱，“在我們看來，先進制程芯片從數(shù)量上講是相對較小的，絕大多數(shù)是成熟制程芯片。我覺得，對于中國來講，這么大終端市場需求推動下，把成熟制程芯片做到非常具有競爭力的水平，對半導(dǎo)體行業(yè)來講是最高效的，可以達到一個事半功倍的效果，有助于提高投入產(chǎn)出比。”
沈波對鈦媒體App表示，要提升中國成熟制程的全球競爭力，未來還需長期努力與產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)的通力合作。“全球競爭力的提升是一個值得思考和努力的方向。”
“中國市場就像一個縮小的全球市場，很多樣化，擁有各種客戶和產(chǎn)品。”沈波強調(diào)，ASML的服務(wù)不僅限于機器的維修和維護，更在于幫助客戶充分利用設(shè)備并優(yōu)化工藝流程，且根據(jù)工藝需求與客戶合作進行調(diào)整和優(yōu)化。ASML對所有客戶而言，很大的附加值是幫客戶把機器用得好。“我們的服務(wù)范圍遠遠超過維修這個范疇，包括與客戶技術(shù)人員合作以改進和開發(fā)工藝。”沈波總結(jié)道。
過去幾年，ASML每年DUV設(shè)備供應(yīng)的能力達200臺左右。沈波透露，到2023年，DUV設(shè)備制造產(chǎn)能應(yīng)該能達到300多臺，但供應(yīng)缺口仍然很大。近年來，公司積極和供應(yīng)商溝通，以期在配合和協(xié)作下，確保順利地響應(yīng)、滿足2025年底的600臺設(shè)備的目標產(chǎn)能。
“如果各個方面都配合得完美無缺，我們在2025年底或是2026年初，就能具備每年500-600臺之間的DUV設(shè)備制造產(chǎn)能。”沈波坦率地表示，如果中間發(fā)生一些不順利的事情，這個時間點還會晚一點。
沈波強調(diào)，如果2025年行業(yè)需求迅猛增長的話，對公司來說還將是“加油干”的一年。
（本文首發(fā)鈦媒體App，作者｜林志佳）
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