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鈦媒體App 9月13日消息，中國計(jì)量科學(xué)研究院的納米線寬標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制團(tuán)隊(duì)，以國際計(jì)量局規(guī)定的國際單位制米定義復(fù)現(xiàn)方法——硅晶格{220}方向尺寸（0.192nm）為基礎(chǔ)，采用內(nèi)稟硅晶格原子標(biāo)尺的線寬標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)設(shè)計(jì)方案，實(shí)現(xiàn)對(duì)線寬標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的原子級(jí)準(zhǔn)確度（<1nm）計(jì)量溯源，突破了現(xiàn)有波長計(jì)量基準(zhǔn)（633nm）溯源方式對(duì)線寬測(cè)量的5nm不確定度水平極限，成功研制了與集成電路關(guān)鍵制程節(jié)點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的7nm、22nm、45nm的線寬標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，不確定度水平處在0.32～1.3nm，初步構(gòu)建了基于硅晶格常數(shù)溯源的集成電路高準(zhǔn)確度納米線寬計(jì)量溯源體系，為保障集成電路與原子級(jí)制造幾何量值的準(zhǔn)確性奠定了堅(jiān)實(shí)計(jì)量基礎(chǔ)。 (央視新聞)