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復(fù)旦團(tuán)隊(duì)研發(fā)超快閃存集成工藝:20納秒超快編程、10年非易失

鈦媒體App 8月13日消息,復(fù)旦大學(xué)周鵬-劉春森團(tuán)隊(duì)前期研究表明二維半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)能夠?qū)⑵渌俣忍嵘磺П兑陨?,?shí)現(xiàn)顛覆性的納秒級(jí)超快存儲(chǔ)閃存技術(shù)。然而,如何實(shí)現(xiàn)規(guī)模集成、走向真正實(shí)際應(yīng)用仍極具挑戰(zhàn)。同時(shí),研究團(tuán)隊(duì)研發(fā)了不依賴先進(jìn)光刻設(shè)備的自對(duì)準(zhǔn)工藝,結(jié)合原始創(chuàng)新的超快存儲(chǔ)疊層電場(chǎng)設(shè)計(jì)理論,成功實(shí)現(xiàn)了溝道長(zhǎng)度為8納米的超快閃存器件,是當(dāng)前國(guó)際最短溝道閃存器件,并突破了硅基閃存物理尺寸極限(約15納米)。在原子級(jí)薄層溝道支持下,這一超小尺寸器件具備20納秒超快編程、10年非易失、十萬(wàn)次循環(huán)壽命和多態(tài)存儲(chǔ)性能。本工作將推動(dòng)超快顛覆性閃存技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。(澎湃)

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