尼康用支持3D機(jī)型開拓半導(dǎo)體光刻機(jī)銷路
鈦媒體App 8月24日消息,日經(jīng)新聞8月24日報(bào)道,尼康2025財(cái)年(截至2026年3月)將把半導(dǎo)體光刻機(jī)(曝光裝置)主力機(jī)型的年銷量增至截至2021財(cái)年(截至2022年3月)3年平均銷量的2倍以上。將以2023年上市的支持3D半導(dǎo)體的新產(chǎn)品為中心。
半導(dǎo)體光刻機(jī)用于在作為基板的晶圓上形成電路的工序,1臺光刻機(jī)的價(jià)格高達(dá)數(shù)十億日元。尼康2023年將推出光源使用化合物“氟化氬(ArF)”、還支持3D的“ArF液浸光刻機(jī)”的新產(chǎn)品。在截至2021財(cái)年(截至2022年3月)的3年內(nèi),使用ArF的半導(dǎo)體光刻機(jī)年均銷售16臺(包括二手機(jī)型)。
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