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鈦媒體6月6日消息，據(jù)最新消息，華為旗下的哈勃投資公司開始投資光刻機(jī)領(lǐng)域，入股了由中科院微電子所控股的科益虹源公司。 企業(yè)信息顯示，北京科益虹源光電技術(shù)公司日前發(fā)生了變化，注冊資金從1.2億元增加到2.02億元，增長68%，主要是投資人多了，其中就有華為旗下的哈勃投資，占股4.76%，成為第七大股東。 據(jù)悉，科益虹源的控股股東是中科院微電子所，持股26.6%，主要業(yè)務(wù)就是光刻機(jī)中的三大核心技術(shù)之一的光源系統(tǒng)，是國內(nèi)第一、全球第三的193nm ArF準(zhǔn)分子激光器企業(yè)。